摘要：MKSE28H0.05-100Torr是一款采用蚀刻传感器技术的Baratron电容式压力计，适用于0.05-100Torr（0.067-133mbar）的精确压力测量。该设备支持100°C加热功能，可有效防止冷凝，确保测量稳定性。其核心的电容传感技术通过检测压力引起的极板间距变化实现高精度测量，特别适合真空和低压环境应用。蚀刻工艺制造的传感器具有优异的长期稳定性和温度适应性，典型应用包括半

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