先进的SOI加工技术可产生卓越的材料化学物理性能，为新型SOI硅晶圆提供所需要的机械坚固性，使其能够经受激进的热退火循环，以及晶圆代工厂先进硅光子加工中典型的更厚的多层金属BEOL技术。具体来说，在SOI制造过程中，由于热处理的原因，硅中所含的间隙氧往往会在晶核上析出，从而导致体微缺陷的产生。，并进一步提升这些复杂系统的能力，实现更高效的结构，进而以更高的性能适应日益复杂的工作负载。随着AI网络的

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