该功能可与系统上的所有电源相匹配，与其波形相吻合,从而使所有的阴极始终处于同相状态。电弧同步可与一个系统中的所有电源相匹配，从而使得所有部件对电弧作出反应，即使只有一个部件感测到了电弧。下图显示了在没有使用CEX时会出现的阴极之间的串扰，并产生波形的电位差。如AE公司采用的Arc Synch技术，CEX是多数射频电源的功能之一，它。有了电弧同步,当感测到电弧时,

此時电荷能量为-q×Vn， 当 RF 在负半周期时， 将提供正离子电荷 q×(Vp Vdc)的能量， 使正离子电荷往 Cathode上的 Wafer加速移动，轰击wafer表面，负电荷与正电荷的移动数量是相同的，这就是DRY ETCH 微观原理。当RF交流电位于正半周期时，等离子体中带负电的电子被吸引至下部极板，当RF交流电位于负半周期时，等离子中带正电的离子被吸引，但由于离子质量较大，无法跟随电

泊松比是指材料在单向受拉或受压时，横向正应变与轴向正应变的比值，也叫横向变形系数，它是反映材料横向变形的弹性常数。负泊松比材料由于具有不同于普通材料的独特性质,在很多方面具备了其他材料所不能比拟的优势,尤其是材料的物理机械性能有了很大的提高,如提高了材料的剪切模量、材料的抗缺口性能、抗断裂性能以及材料的回弹韧性。另外,由于材料的泊松比影响到应力波的传输和反射,应力的消除和在裂纹附近的应力分布,所以

请注意：很多时候，XRD全谱很难直观地表现衍射图样的变化，而为了更好地说明情况，一般将某个特征峰（常见为主峰）进行放大（也可以在XRD测试时，只选取某个较小范围进行测试），然后比较其衍射峰位置。从图a的插图(对111特征峰的放大)可以看出，Pt1Pd3的衍射峰介于Pd和Pt之间，且峰型对称，说明形成的是PtPd合金。而如果A，B不形成合金，A-B复合物的特征衍射峰由A和B的衍射峰按比例叠加而成，不

等离子体（Plasma）是指与固、液、气三态并列的称为物质存在第四态的电离气体，这是由汤克斯（L.•Tonks）和朗格缪尔（I•Langmuir）首次提出的。等离子体由全部或部分电离的导电气体组成，其中包含电子、原子或原子团形成的正、负带电粒子，激发态原子或分子，基态原子或分子及自由基等六大类粒子。这些粒子的正、负电荷的数量及密度分布大致平衡，整体对外保持宏观电中性，故称等离子体。在加热或放电等受

因材料的不同，这种集体振荡的特征频率也不同，故而所需要的激发能亦因之而异。由于不同原子或分子的激发态具有不同的能量，因此光电子的能量也不同，横坐标是能量，纵坐标是强度。对于某些材料，光电子在离开样品表面的过程中，可能与表面的其它电子相互作用而损失一定的能量， 而在XPS低动能侧出现一些伴峰，即能量损失峰。①H和He的只有价电子，没有内层电子，内层电子有原子特征 ，H和He只有分子特征，没有原子特征