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本文介绍了FAB(半导体制造厂)常用的30个基础术语,涵盖生产物料、机台设备、工艺流程、状态报警和系统软件五大类。重点术语包括Wafer(晶圆)、Lot(生产批次)、FOUP(晶圆盒)、Recipe(工艺程序)、MES(制造执行系统)和EAP(设备自动化程序)等。通过分类整理和记忆口诀,帮助初学者快速掌握半导体制造领域的关键英文缩写和中文释义,为理解工程师日常对话和EAP系统操作打下基础。课后作业
本文详解了机台I/O点位表在EAP工作中的核心作用与应用方法。I/O表作为PLC与外部设备通信的唯一标准文档,记录了所有输入/输出信号的地址、类型、方向等信息。文章重点介绍了DI(数字输入)、DO(数字输出)、AI(模拟输入)、AO(模拟输出)四种信号类型的特征与用途,并通过示例表格展示标准I/O表结构。同时阐述了EAP如何通过I/O表进行信号对接、故障排查和指令下发,以及常见故障场景的处理方法。
本课程介绍了半导体设备中常用传感器与执行器的功能和应用。传感器(光电、接近开关等)负责检测机台状态并转换为电信号(DI/AI)输入PLC,执行器(电磁阀、电机等)则根据PLC输出信号(DO/AO)执行动作。课程详细分类了数字/模拟传感器及各类执行器,通过典型场景说明其工作逻辑,并强调EAP工程师需掌握传感器-执行器对应关系以快速判断设备异常。核心要点包括:传感器反馈状态、执行器执行动作、数字/模拟
摘要:本课介绍PLC基础知识,重点讲解PLC作为机台控制核心的功能(信号采集、逻辑判断、输出控制)以及EAP必须掌握的四种信号类型:DI(数字输入,如门开关状态)、DO(数字输出,如控制指示灯)、AI(模拟输入,如温度值)和AO(模拟输出,如调节转速)。通过典型逻辑案例(如安全门联锁)说明PLC工作原理,强调EAP人员理解这些底层逻辑对排查机台故障(如动作异常、报警)的重要性。课程要求掌握PLC的
摘要:本课介绍PLC基础知识,重点讲解PLC作为机台控制核心的功能(信号采集、逻辑判断、输出控制)以及EAP必须掌握的四种信号类型:DI(数字输入,如门开关状态)、DO(数字输出,如控制指示灯)、AI(模拟输入,如温度值)和AO(模拟输出,如调节转速)。通过典型逻辑案例(如安全门联锁)说明PLC工作原理,强调EAP人员理解这些底层逻辑对排查机台故障(如动作异常、报警)的重要性。课程要求掌握PLC的
本文详细解析了TCP/IP协议在半导体工业控制领域的应用。作为网络通信的核心标准,TCP/IP通过四层模型实现异构设备的互联互通:应用层处理业务指令(如HSMS/SECS-II)、传输层保障可靠传输(TCP协议)、网络层负责寻址路由、网络接口层完成物理信号转换。重点阐述了TCP三次握手建立连接、数据分段传输、确认重传机制及四次挥手断开连接的完整流程。文章特别强调半导体设备通信必须使用TCP协议保证







