某设备制造商主要负责干法刻蚀机的生产制造与销售，其核心工艺是真空反应腔，各类反应气体经过电离形成等离子体，从而去除材料原子或生成挥发性化合物，进而达到精确的刻蚀效果。

目前，运行状态无法实时感知，因此售后运维工作主要依赖现场人员巡检与被动式报修，但跨区域提供售后技术支持响应缓慢，故障预警能力缺失，往往在参数异常并造成良率损失或设备停机后才发现问题，这不仅严重影响半导体器件等产品的生产进度与质量，也导致企业运维成本高企，客户满意度下降。

对此，物通博联提供刻蚀机数据采集到运维管理平台的解决方案。通过部署PLC网关到刻蚀机中，能够实时采集射频电源功率与反射功率、腔室真空度、气体流量（如Cl₂、BCl₃、CF₄等工艺气体）、电极温度、冷却水温度与流量、静电卡盘电压与电流等数据，并通过4G网络上报到设备运维管理平台中，从而实现为全国各地设备的远程监控、告警、管理、控制、维护、运维与数据统计分析等功能，为售后运维提供全面可靠的数据支持。

实现功能

实时采集刻蚀机的运行状态、工艺参数与告警信息，并通过电脑端/手机端以图表、曲线形式集中展示。

出现异常时自动通过微信、短信、邮件等方式自动告警至管理人员，快速响应异常情况，并统计设备故障分布、告警信息等。

授权管理人员实现远程修改PLC参数及启停设备，也能实现远程编程调试和远程上下载程序等操作，无需出差前往到场，提升效率并降低现场安全风险。

存储历史运行数据到数据库中，支持多维度查询与分析，结合给矿浓度、频率等参数与回收率关联分析，优化工艺，提升贵金属回收率。

统一管理设备信息、备件清单、维修及保养记录，自动生成保养任务提醒，形成闭环维保，减少非计划停机，实现设备全生命周期的运维管理。