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- @t876876
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SECS/GEM协议实现 MQTT & websocket接口透传解决方案
本文介绍了半导体设备通信标准SECS/GEM的指令格式转换与网关应用方案。详细展示了S6F11/S6F12指令的原始格式及对应的JSON透传格式，包含事件报告、数据ID、晶圆ID等关键参数。同时阐述了网关支持的三种工作模式：1）传统串口转SECS接口；2）MQTT物联网接口模式；3）WebSocket接口模式。该方案由浙江省机器人产业重点实验室开发，具备工业级稳定性，支持7×24小时运行，内置硬件
SECS/GEM协议实现 MQTT & websocket接口透传解决方案
本文介绍了半导体设备通信标准SECS/GEM的指令格式转换与网关应用方案。详细展示了S6F11/S6F12指令的原始格式及对应的JSON透传格式，包含事件报告、数据ID、晶圆ID等关键参数。同时阐述了网关支持的三种工作模式：1）传统串口转SECS接口；2）MQTT物联网接口模式；3）WebSocket接口模式。该方案由浙江省机器人产业重点实验室开发，具备工业级稳定性，支持7×24小时运行，内置硬件
到底了