Edwards AC6E1B123300XS 干式真空泵

该型号属于 Edwards iXH 4540HT 系列干式真空泵，采用多级罗茨设计，定位于半导体制造等严苛工艺场景。

产品特点

• 属于 Edwards iXH 系列干式真空泵，该系列专为严苛制程能力、稳定性和低拥有成本而设计。

• 采用高效罗茨机构，可显著降低输入功率，比上一代干泵降低约 60%，减少环境影响与使用成本。

• 气体阻隔技术与热设计改进使耐腐蚀性能比 iH 系列产品高出四倍。

• 先进的粉末处理功能可为多层蚀刻工艺提供最大的可靠性并延长泵的使用寿命。

• 紧凑轻量化设计，噪音和振动极低，适合对运行环境要求较高的洁净生产场景。

• 无需预防性维护，可在重大检修之间持续运行。

• 配备不锈钢水冷系统与多模式气体模块，支持 3/8 英寸快速连接注水接口。

• 适用于负载锁、传输、蚀刻、CVD、PVD、RTP 等半导体制造关键工艺。

核心参数

• 型号归属：iXH 4540HT 系列。

• 部件编号：AC6E1B123300XS。

• 峰值抽速：1200 m³/h（645 CFM）。

• 极限压力：3.7 × 10⁻³ Torr。

• 电源：三相 200-230V AC，50/60Hz。

总结
Edwards AC6E1B123300XS（iXH 4540HT）是一款面向半导体严苛制程的高性能干式真空泵。它以显著降低的能耗、优异的耐腐蚀性和紧凑设计为核心优势，为多层蚀刻、CVD 等对可靠性和洁净度要求极高的工艺场景提供了高效、可靠的解决方案。