探针卡(probe card)是晶圆测试(wafer test)中被测芯片(chip)和测试机之间的接口,主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量,并筛选出不良芯片后,再进行之后的封装工程。
集成电路(integrated circuit,缩写:IC)是采用半导体制作工艺,在一块较小的硅片上制作许多晶体管及电阻器、电容器等元器件,并按照多层布线方法将元器件组合成完整的电子电路
探针卡按结构类型分为:刀片针卡,悬臂针卡,垂直针卡,膜式针卡和MEMS针卡
探针卡主要由PCB、探针及功能部件等组成,根据不同的情况,还会有电子元件、补强板(Stiffener)等的需求。悬臂针卡还包含针环(Ring)、环氧(Epoxy)等
悬臂针卡常见的针材质:钨Tungsten (W),铼钨RheniumTungsten (RW, 3%R 97%W),铍铜Beryllium-copper(BeCu),Paliney7 (P)
PCB是承载针、环、功能部件的载体,并实现针尖与测试机的信号传递,其外形、尺寸等受接口方式制约,材质受测试环境制约,所对应的外形一般是方形和圆形
MEMS: 为提高throughput及发展更细微间距(fine pitch)、更高针数(high pincounts)之探针卡技术,微机电制程 (Micro-Electrical-Mechanical Systems;MEMS)技术出现,突破环氧探针卡(Epoxy ring probe card)以人工一根根组装探针之制造方式及微型弹簧式探针卡(Micro-spring probe card)逐根焊接的技术限制,自动化程度高,突破制作成本与pin counts数成正比的限制,有利于高脚数探针卡之制作,其适合高针数 (~30k pins/卡)、高电流及高探针压缩行程之测试需求。 能保持绝佳稳定度及极低测试刮痕。换言之,在极窄间距的晶圆测试上,也仅产生极小刮损痕迹,进而有效增加耐用度并降低换针频率。
环氧悬臂式探针卡针数可达数千针,针层数可达 16层;pitch 悬臂针 30um 垂直针 40-50um
悬臂式探针卡使用寿命:100wTD
探针卡存储条件:真空包装出厂,闲置探针卡存放氮气柜,湿度:25%±2
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