Edwards STP-iXR1606C 涡轮分子泵

该型号为Edwards STP-iXR系列磁悬浮涡轮分子泵，专为半导体及高真空工业领域的高要求应用而设计。

产品特点

• 采用磁悬浮轴承技术，转子无接触运行，几乎无磨损，可靠性高，使用寿命长。

• 无油运行结构，可创造极高洁净度的真空环境，满足半导体等行业的严苛要求。

• 运行噪音和振动极低，减少对精密制程和洁净室环境的干扰。

• 专为半导体制造等严苛工艺环境设计，具有较强的工艺气体兼容性。

• 多级涡轮叶片结构，可实现高压缩比和稳定的极限真空度。

• 结构紧凑，占地面积小，便于设备集成与产线布局。

• 适用于刻蚀、CVD、PVD等半导体制造关键工艺环节。

• 适用于表面科学、加速器物理等科研领域的高真空需求。

• 配备标准真空法兰接口，适配主流真空系统。

• 兼容标准真空系统控制协议，支持与上位机集成监控。

核心参数

• 制造商：Edwards。

• 型号：STP-iXR1606C。

• 类型：磁悬浮涡轮分子泵。

• 产品状态：二手市场有流通，可作为备件采购。

总结
Edwards STP-iXR1606C是一款面向半导体及高真空应用领域的磁悬浮涡轮分子泵。它以无油洁净、低振动和高可靠性为核心优势，适用于刻蚀、CVD等对真空环境要求极为严格的工艺场景