Edwards STP-XA3203CV 涡轮分子泵

该型号为Edwards STP-XA系列的一款高性能磁悬浮涡轮分子泵，型号末尾的"CV"标识其具备增强型耐腐蚀设计并集成了温度管理系统（TMS），适用于半导体制造、薄膜沉积、科研分析等对高洁净度和严苛工艺气体环境有要求的领域。

产品特点

• 采用磁悬浮轴承技术，转子在无接触状态下高速旋转，几乎无机械磨损，显著提高可靠性并延长使用寿命，同时运行噪音和振动极低。

• 型号后缀"CV"代表其具有增强的耐腐蚀性能，并配备温度管理系统（TMS），该系统能主动监控并调节泵体温度，有效减少工艺副产物在泵内的沉积与腐蚀。

• 兼容氯气、氟气等特殊制程气体，适用于半导体行业的多种严苛工艺环境。

• 支持垂直和水平多种安装方向，配备水冷系统（TMS控制），可灵活适配不同系统集成需求。

• 泵体采用无油设计，配合磁悬浮技术，可创造极高清洁度的真空环境。

核心参数

• 抽速：氮气（N₂）最高可达3200 L/s。

• 极限压力：可达10⁻⁷ Pa量级（烘烤后）。

• 进气口法兰：ISO320F。

• 额定转速：27,500 rpm。

• 电源输入：AC 200-240V。

总结
Edwards STP-XA3203CV是一款集高性能与高可靠性于一体的磁悬浮涡轮分子泵。它通过创新的磁悬浮技术和针对严苛工艺优化的温度管理系统，在实现超高真空与高抽速的同时，有效解决了工艺气体对泵体的腐蚀和沉积问题，是半导体等高端制造领域对清洁、稳定真空环境的理想选择。