Edwards YT66-C6-001 涡轮分子泵 产品简介

Edwards YT66-C6-001 是 Edwards 为半导体及工业真空应用设计的一款高性能涡轮分子泵，常用于 Tokyo Electron（TEL）等半导体设备的配套与替换，确保高真空环境的稳定维持。

产品特点

1. 由 Edwards 制造，适配 TEL 半导体设备配套需求。

2. 额定转速达 27,500 rpm，满足高真空制程要求。

3. 入口法兰采用 ISO 250/ISO 250F 标准接口，兼容主流真空系统。

4. 出口法兰为 NW40/KF40，便于系统连接。

5. 采用油润滑旋转叶片设计，配备润滑剂补充系统，延长使用寿命。

6. 具备低速、中速、高速可调速度控制功能，提升运行效率。

7. 噪音排放低至约 58 dBa，适合对噪音敏感的生产环境。

8. 通过 CE 认证，符合国际安全标准。

9. 结构坚固耐用，采用碳钢外壳和不锈钢滤网，具备一定的耐腐蚀性。

10. 适用于半导体制造、工业超高真空工艺及低温设备等严苛场景。

产品参数

1. 型号：YT66-C6-001 / STP-XA2703BV3。

2. 制造商：Edwards。

3. 额定转速：27,500 rpm。

4. 入口法兰：ISO 250 / ISO 250F。

5. 出口法兰：NW40 / KF40。

综上所述，Edwards YT66-C6-001 凭借其 27,500 rpm 的高转速、灵活的速度控制及可靠的油润滑设计，能够为半导体及工业高真空工艺提供稳定、高效的真空解决方案