在“EDA应用及益处”系列的最后一篇文章中，我们将讨论一个应用程序，它是最基本和最直观的应用程序之一，同时也为机器学习和人工智能(AI)领域中的许多新兴功能提供了基础-跟踪数据分析。此外，在我们过去6个月介绍的所有应用程序中，跟踪数据分析是最直接利用SEMI设备数据采集(EDA)标准功能的应用程序。问题陈述当我们问晶圆厂工艺工程师和他们的自动化支持团队为什么他们现在要求在新设备上使用最新的...

GEM是一种工业标准，它定义了工艺设备和工厂主机软件之间， 为了达到监视和控制目的所建立通信的标准方法。通过连接GEM设备，工厂可以立即体验到运营效益。工厂主机可以通过多种方式收集数据。之前的一篇博客文章讨论了使用收集事件报告收集数据，其中数据基于设备状态的变化被推送到主机。除了事件报告之外，工厂主机通常还需要轮询设备的当前数据值。数据值可以由主机直接请求，也可以在跟踪报告中定期采样...

随着最近SEMI EDA(设备数据采集，也称为Interface A) 标准的采用速度在过去18个月里显著加快，现在是时候强调那些在整个行业中充分利用这些标准的应用，以及由此带来的具体制造效益。本系列的文章并不是简单地建议如何利用这些标准的性能、灵活性和体系结构特性。相反，它们是从实际生产经验中获得的前沿应用特定的微型案例研究。因此，它们可以为那些正在考虑潜在的试点项目，甚至在工厂范围内部署E..

在EDA应用程序和智能制造系列的好处的第三篇文章中，我们重点介绍了一系列在领先的半导体制造商中使用EDA/Interface A标准的制造应用程序中的第一个，在第四篇文章中，我们将重点介绍到目前为止业界采用EDA的主要驱动，即故障检测和分类(FDC)。问题陈述FDC所解决的问题是防止由于某种设备由于某种原因从其可接受的操作窗口漂移出而导致的废料。目前领先的FDC系统普遍使用的技术，是基于 ...